| 1. Identity statement | |
| Reference Type | Conference Paper (Conference Proceedings) |
| Site | mtc-m16.sid.inpe.br |
| Holder Code | isadg {BR SPINPE} ibi 8JMKD3MGPCW/3DT298S |
| Identifier | 6qtX3pFwXQZGivnJVY/MdJcT |
| Repository | sid.inpe.br/mtc-m16@80/2006/08.21.14.16 |
| Last Update | 2006:08.21.14.16.59 (UTC) simone |
| Metadata Repository | sid.inpe.br/mtc-m16@80/2006/08.21.14.17.01 |
| Metadata Last Update | 2022:09.14.20.01.24 (UTC) administrator |
| Secondary Key | INPE-14000-PRE/9175 |
| Label | self-archiving-INPE-MCTIC-GOV-BR |
| Citation Key | SáBarr:2006:CaToPl |
| Title | Caracterização de tochas de plasma utilizada para crescimento de filmes superduros  |
| Year | 2006 |
| Access Date | 2024, May 19 |
| Secondary Type | PRE CN |
| Number of Files | 1 |
| Size | 967 KiB |
| 2. Context | |
| Author | 1 Sá, Ubirajara Oliveira 2 Barreto, Patrícia Regina Pereira |
| Group | 1 2 LAP-INPE-MCT-BR |
| Affiliation | 1 ETEP - Faculdades São José dos Campos 2 Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais - INPE |
| Conference Name | Sicinpe - 2006. |
| Conference Location | São José dos Campos |
| Pages | 18 p. |
| History (UTC) | 2006-08-21 14:17:01 :: vinicius -> administrator :: 2018-06-05 01:17:05 :: administrator -> marciana :: 2006 2020-04-28 13:43:04 :: marciana -> simone :: 2006 2020-04-28 13:43:35 :: simone -> administrator :: 2006 2022-09-14 20:01:24 :: administrator -> simone :: 2006 |
| 3. Content and structure | |
| Is the master or a copy? | is the master |
| Content Stage | completed |
| Transferable | 1 |
| Content Type | External Contribution |
| Abstract | Este trabalho iniciado em agosto de 2004 tem como objetivo o projeto de um novo canhão para a tocha de plasma utilizada na sintetização de filmes super duros. Para isto é necessário encontrar a região ótima de operação do sistema, através da caracterização do plasma, via sondas eletrostáticas, curvas de breakdown e características de descarga, para diferentes configurações de eletrodos. Numa primeira fase do trabalho, foi remontado o sistema de vácuo que estava desativado, com a inclusão de uma bomba roots e medidores de pressão deste a faixa de 2atm até 10-3mbar. O sistema de vácuo foi caracterizado através das curvas de pressão em função do tempo e apresentadas no relatório anterior. Na segunda fase do trabalho, o sistema elétrico da tocha de plasma foi modificado, com a alteração do filtro RLC. Com o sistema de vácuo funcionando e o novo circuito elétrico instalado, iniciou-se os disparos da tocha de plasma, considerando três configurações diferentes de catodos para um mesmo anodo. A aquisição de dados foi feita conectando o experimento a um osciloscópio Textronics TDS3014B e este ao microcomputador onde as informações ficam armazenadas para posteriormente serem analisadas. Foram coletados três canais no osciloscópio, um representa a queda de tensão entre os eletrodos, e os outros dois representam a queda de tensão em resistências padrão, que serem utilizados na determinação da corrente da descarga. Esses dados são importados diretamente em programas gráficos para a construção das curvas características. Utilizando um programa em Fortran, escrito para esta finalidade, foi determinado a média e o desvio padrão dos dados coletados para cada uma das configurações dos eletrodos. Também, foram determinadas as curvas de Breakdonw (ruptura da descarga) para os diferentes catodos e verificou-se que tensão mínima necessária para iniciar a descarga com o catodo de 1/4 de tungstênio é de 617,5 18,6V, enquanto que para o catodo de 1/8 de tungstênio esta tensão cai para 345,4 17,2 V, e a curva característica da descarga (V I - tensão versus corrente) nestes dois casos é na faixa de 50V 20 70A. A tensão de ruptura para o catodo de 10mm de molibdênio é de 328,5 81,1V e mesma condição de V I. A partir destas curvas será possível escolher algumas condições para a determinação dos parâmetros de plasma. Numa terceira etapa do trabalho, iniciaram-se os estudos de equilíbrio termodinâmico da descarga, considerando a descarga de N2 e NF3, de interesse no crescimento de filmes superduros. Neste estudo foi considerada a reação N2 + NF3 = Produtos, e as frações molares dos produtos foram determinadas utilizando o programa STANAJN para diferentes valores de e e condições de pressão e temperaturas típicas do experimento. Depois utilizando-se de um código cinético, ChemKin, foi determinada a composição da fase gasosa e comparada com os dados de equilíbrio. |
| Area | FISPLASMA |
| Arrangement | urlib.net > Produção anterior à 2021 > LABAP > Caracterização de tochas... |
| doc Directory Content | access |
| source Directory Content | there are no files |
| agreement Directory Content | there are no files |
| 4. Conditions of access and use | |
| data URL | http://urlib.net/ibi/6qtX3pFwXQZGivnJVY/MdJcT |
| zipped data URL | http://urlib.net/zip/6qtX3pFwXQZGivnJVY/MdJcT |
| Language | pt |
| Target File | Ubirajara Oliveia de S.pdf |
| User Group | administrator simone vinicius |
| Reader Group | administrator simone |
| Visibility | shown |
| Copy Holder | SID/SCD |
| Update Permission | not transferred |
| 5. Allied materials | |
| Next Higher Units | 8JMKD3MGPCW/3ET2RFS 8JMKD3MGPDW34P/478H96R |
| Citing Item List | sid.inpe.br/mtc-m16c/2022/07.08.19.50.38 1 |
| Host Collection | sid.inpe.br/banon/2003/08.15.17.40 |
| 6. Notes | |
| Notes | Bolsa PIBIC/INPE/CNPq |
| Empty Fields | archivingpolicy archivist booktitle callnumber copyright creatorhistory date descriptionlevel dissemination doi e-mailaddress edition editor electronicmailaddress format isbn issn keywords lineage mark mirrorrepository nextedition numberofvolumes orcid organization parameterlist parentrepositories previousedition previouslowerunit progress project publisher publisheraddress readpermission resumeid rightsholder schedulinginformation secondarydate secondarymark serieseditor session shorttitle sponsor subject tertiarymark tertiarytype type url versiontype volume |
| 7. Description control | |
| e-Mail (login) | simone |
| update | |